旋片式真空泵的變形型式很多，把很多單個(gè)旋片式真空泵組合在一起，可做成多室旋片式真空泵，把旋片式真空泵與其他泵組合在一起可形成組合泵或泵組(如機(jī)械泵-擴(kuò)散泵抽氣機(jī)組)。側(cè)偏心泵是將旋片式真空泵結(jié)構(gòu)加以改進(jìn)，從而提高了原設(shè)計(jì)型式的性能。它也可用于多位同時(shí)排氣的裝置上。它的使用范圍與其他旋片式真空泵相同。    

一、多室旋片式真空菜

一般電子管等電真空器件排氣時(shí)多使用圓排氣車，其中機(jī)械泵多用十室泵，即多室旋片式真空泵，以進(jìn)行多位獨(dú)立抽氣。

1.多室旋片式真空泵的工作原理

多室旋片式真空泵與單級(jí)或雙級(jí)旋片式真空泵的工作原理是一樣的。不同點(diǎn)在于:它是在一個(gè)共同基體內(nèi)裝有由同一電機(jī)拖動(dòng)的若干個(gè)獨(dú)立工作室(單級(jí)旋片式真空泵)，每一個(gè)獨(dú)立工作室在整個(gè)抽氣過程中能互不干擾地直接對(duì)一個(gè)容器進(jìn)行抽氣。所以稱它為多室旋片式真空泵。

2.多室旋片式真空泵的構(gòu)造

它是由箱體和浸在箱體內(nèi)各個(gè)獨(dú)立工作室兩個(gè)主要部分所組成。這些獨(dú)立工作室就是一個(gè)單級(jí)旋片式真空泵，它是由泵體(工作室腔)、轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、過濾器(網(wǎng))、排氣閥等主要部件所組成。這些獨(dú)立工作室串聯(lián)成泵組，并用螺釘緊固于箱體內(nèi)的機(jī)座上。

二、側(cè)偏心式旋片式真空泵

前面已多處提及旋片式真空泵中的側(cè)偏心式泵，因它是南光機(jī)器廠設(shè)計(jì)制造的一種較新型旋片式真空泵。它的優(yōu)點(diǎn)在于綜合技術(shù)指標(biāo)比較高，在某些方面，如比功率、比重量、噴油、耗油量等超

過了同類產(chǎn)品，且超過了一些資本主義國家的同類產(chǎn)品。

三、旋片式真空泵的改進(jìn)趨勢(shì)

旋片式真空泵與其他類型的機(jī)械泵比雖有很多優(yōu)點(diǎn)，但缺點(diǎn)也不少，特別是距生產(chǎn)實(shí)踐要求還相差很遠(yuǎn)。例如在耐腐蝕、耐磨、體積小、重量輕、噪音低、振動(dòng)小，自動(dòng)防止油的返流、去除油蒸氣返流等等方面，均需努力。為適應(yīng)儀器發(fā)展需要18升/秒以下的小旋片式真空泵已向小型化儀器化發(fā)展了。    

老式的機(jī)械泵，在抽氣時(shí)，隨著真空度的提高，抽速均下降很多。近年來，由于降低了油蒸氣的返流，同時(shí)采用了一些新技術(shù)(如在旋片式真空泵中采用三旋片的結(jié)構(gòu)等)，因而使泵的抽速曲線(水平線)幾乎延伸到1x10-3托。

在清潔真空研究方面，為了避免油蒸氣的返流，有人提出旋片式真空泵的高真空級(jí)密封采用固體潤滑材料(干級(jí))，而以一般的油封旋片式真空泵作前級(jí)(油封級(jí))的兩級(jí)泵。    

當(dāng)然，更徹底的解決油蒸氣返流還是設(shè)法研制無油機(jī)械真空泵。國內(nèi)外已研究了多年，研制出了不少種類型。但能從大氣開始抽氣、且能連續(xù)工作而與現(xiàn)有油封機(jī)械泵性能相似的泵，仍在研制中，無正式產(chǎn)品。相信，隨著真空技術(shù)的進(jìn)步，性能好的、能適應(yīng)多種作業(yè)要求的旋片式真空泵定將出現(xiàn)。